Allcontrol AG Schweiz

Mess- und Regeltechnik nach Mass


Abbildung VSMVSM - Smartline™ Vakuum-Transmitter 

Absolutdruck 1000 mbar bis 5 x 10-9 mbar (=hPa), 750 Torr bis 5 x 10-9 Torr

Im digitalen Vakuumtransmitter VSM misst eine Kombination aus Pirani- und Kaltkathodensensor Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum. Die intelligente Mikroprozessorsteuerung regelt automatisch das optimale Zusammenspiel beider Vakuumsensoren. Smartline steht für den Einsatz modernster Technologie zur komfortablen, sicheren und kosteneffektiven Prozesssteuerung.


Ihre Vorteile
bieten

  • Großer Messbereich durch Kombinationssensorik Pirani/Kaltkathode
  • Pirani mit erweitertem Messbereich, dadurch Betrieb der Kaltkathode
    bei niedrigem Druck und optimierte Lebensdauer
  • Widerstandsfähige Kaltkathoden-Messzelle, unempfindlich gegen Lufteinbruch
  • Digitale RS485-Schnittstelle und analoges Ausgangssignal 1,819-8,6 V
    oder EtherCAT
  • Automatische Baud-Raten-Erkennung 9,6 bis 115 kBit/s
  • Optional mit großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung (VSM77DL, VSM79DL)
  • Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte
  • Ersatzsensoren mit im Sensorkopf gespeicherten Kalibrierdaten, einfacher Austausch vor Ort

Beispiele für Anwendungen

  • Massenspektrometer
  • Aufdampf- und Beschichtungsanlagen
  • Messen und Steuern im Fein- und Hochvakuumbereich
  • Verfahrenstechnik
  • Sputteranlagen
  • Vakuumöfen

Bestellinformationen

TypbezeichnungBeschreibung
VSM77D Kombinationssensor Kaltkathode/Pirani Absolutdruck 1000 - 5,0e-9 mbar,
Ausgangssignal: 2,0-8,6 V (logarithmisch 0,6V/Dekade),
serielle Schnittstelle RS485,
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN25 ISO KF,
Metallgehäuse
 
VSM77DL identisch mit VSM77D,
inkl. großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung
 
VSM77E Kombinationssensor Kaltkathode/Pirani Absolutdruck 1000 - 5,0e-9 mbar,
serielle Schnittstelle RS485,
EtherCAT,
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN25 ISO KF,
Metallgehäuse
 
VSM79D Kombinationssensor Kaltkathode/Pirani Absolutdruck 1000 - 5,0e-9 mbar,
Ausgangssignal: 2,0-8,6 V (logarithmisch 0,6V/Dekade),
serielle Schnittstelle RS485,
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN40 CF-F,
Metallgehäuse
 
VSM79DL identisch mit VSM79D,
inkl. großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung
 
VSM79E Kombinationssensor Kaltkathode/Pirani Absolutdruck 1000 - 5,0e-9 mbar,
serielle Schnittstelle RS485,
EtherCAT,
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN40 CF-F,
Metallgehäuse
 

Zubehör

TypbezeichnungBeschreibung
B_VSM77 Austauschsensor Typ VSM77 kalibriert, DN25 ISO KF
 
B_VSM79 Austauschsensor Typ VSM79 kalibriert, DN40 CF-F
 
SLKUSB Schnittstellenkonverter RS485-USB,
mit 2m Kabel und SubD-Stecker, weibl. 15polig,
galvanisch getrennt,
für Smartline-Transmitter in Verbindung mit Steckernetzteil SLN4
oder kundeneigener Spannungsversorgung
 
SLN4 Steckernetzteil 24 V
zur Spannungsversorgung eines Smartline Transmitters;
Input: 100-240 VAC / 50-60Hz, 300 mA
Input-Stecker: AC-Wechselstecker EURO, US, UK, AUS,
Output: 24 VDC, 500mA,
Stecker Zweifach SubD 15polig
 
W1500002 2m Messkabel mit offenen Enden für VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 
W1506002 2m Messkabel für VD9 mit VSH/VSM,
geschirmt, 15 pol. SubD, 6 pol. Amphenol
 
W1506006 6m Messkabel für VD9 mit VSH/VSM,
geschirmt, 15 pol. SubD, 6 pol. Amphenol
 
W1506010 10m Messkabel für VD9 mit VSH/VSM,
geschirmt, 15 pol. SubD, 6 pol. Amphenol
 
W1515002 2m Messkabel für VD10 mit VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 
W1515006 6m Messkabel für VD10 mit VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 
W1515020 20m Messkabel für VD10 mit VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 

Technische Daten

Messprinzip Pirani / Invertiertes Magnetron, beide gasartabhängig
Medienberührendes Material Edelstahl 1.4307, Nickel, Wolfram, Molybdän, Glas, Keramik
Messbereich 1000 - 5e-9 mbar (750 - 5e-9 Torr), zul. Überlast 4 bar absolut
Genauigkeit 1000 - 10 mbar: < 30 % vom Messwert
10 - 2e-3 mbar: < 10 % vom Messwert
2e-3 mbar - 1e-8 mbar: < 25% vom Messwert
Wiederholgenauigkeit 10 - 1e-2 mbar: Ca. ±2% vom Messwert
1e-2 - 1e-8 mbar: Ca. ±7% vom Messwert
Reaktionszeit 200 ms (1 s beim Einschalten der Kaltkathode)
Kathodenspannung Max. 2,5 kV
Spannungsversorgung 20 - 30 VDC
Elektrischer Anschluss VSM77D/DL, VSM79D/DL:  SubD,  15pol., männl., verschraubbar
VSM77E, VSM79E: M12 Rundsteckverbinder, weibl., verschraubbar,
1x A-Standard, 5pol., 2x D-codiert, 4pol.
Leistungsaufnahme Max. 3 W, zusätzlich 0,8 W f. EtherCAT / Relais / LCD
Umgebungstemperatur +5...+60°C
Lagertemperatur -40...+65°C
Maximale Ausheiztemperatur 160°C am Flansch (Elektronik abgenommen)
Ausgangssignal 0 - 10 VDC, Messbereich 1,819 - 8,6 VDC, logarithm., 0,6V/Dekade
Lastwiderstand > 10k W (VSM77D/DL, VSM79D/DL)
Serielle Schnittstelle RS485: 9,6 kBit/s bis 115 kBit/s, Adresschalter 1 - 16
Schaltpunkte 2 Relais (Wechsler), 50 VAC / 2 A, 30 VDC / 2 A, max. 60 VA
Vakuumanschluss DN 25 ISO-KF (VSM77),
DN 40 CF-F (VSM79)
Schutzart IP54 (VSM77E, VSM79E),
IP40 (VSM77D/DL, VSM79D/DL)
Gewicht Ca. 555 g

vsm72-kennlinie

Vout /V = 0,6 log (p/mbar) + 6,8
p /mbar = 10( (Vout /V – 6,8) / 0,6 )