Allcontrol AG Schweiz

Mess- und Regeltechnik nach Mass


Abbildung VSHVSH - Smartline™ Vakuum-Transmitter 

Absolutdruck 1000 bis 5 x 10-10 mbar

Im digitalen Vakuumtransmitter VSH misst eine Kombination aus Pirani- und Heißkathodensensor Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum. Die intelligente Mikroprozessorsteuerung regelt automatisch das optimale Zusammenspiel beider Vakuumsensoren. Smartline steht für den Einsatz modernster Technologie zur komfortablen, sicheren und kosteneffektiven Prozesssteuerung.


Ihre Vorteile
bieten

  • Großer Messbereich durch Kombinationssensor Pirani/Bayard Alpert
  • Pirani mit weitem Messbereich, dadurch Betrieb der Heißkathode bei niedrigem Druck
    und optimierte Lebensdauer
  • Exzellente Genauigkeit und Reproduzierbarkeit
  • Bayard-Alpert mit durchbrennsicherem, yttriertem Iridium-Doppelfilament,
    unempfindlich gegen Lufteinbruch
  • Digitale RS485-Schnittstelle und logarithmisches Ausgangssignal 1,219-8,6 V
    oder EtherCAT
  • Automatische Baud-Raten-Erkennung 9,6 bis 115 kBit/s
  • Optional mit großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung (VSH88DL, VSH89DL)
  • Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte
  • Einfach austauschbarer Sensorkopf mit eingespeicherten Kalibrierdaten

Beispiele für Anwendungen

  • Aufdampf- und Beschichtungsanlagen
  • Sputteranlagen
  • Analysentechnik
  • Messen und Steuern im Fein- und Hochvakuumbereich
  • Vakuumöfen
  • Verfahrenstechnik
  • Weltraumsimulationskammern

Bestellinformationen

TypbezeichnungBeschreibung
VSH88D Kombinationssensor Bayard Alpert/Pirani Absolutdruck 1000 - 5,0e-10 mbar,
Ausgangssignal: 1,22-8,6 V (logarithmisch 0,6V/Dekade),
Serielle Schnittstelle RS485,
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN40 ISO KF,
Metallgehäuse
 
VSH88DL identisch mit VSH88D,
inkl. großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung
 
VSH88E Kombinationssensor Bayard Alpert/Pirani Absolutdruck 1000 - 5,0e-10 mbar,
serielle Schnittstelle RS485,
EtherCAT,
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN40 ISO KF,
Metallgehäuse
 
VSH89D Kombinationssensor Bayard Alpert/Pirani Absolutdruck 1000 - 5,0e-10 mbar,
Ausgangssignal: 1,22-8,6 V (logarithmisch 0,6V/Dekade),
Serielle Schnittstelle RS485,
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN40 CF-F,
Metallgehäuse
 
VSH89DL identisch mit VSH89D,
inkl. großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung
 
VSH89E Kombinationssensor Bayard Alpert/Pirani Absolutdruck 1000 - 5,0e-10 mbar,
serielle Schnittstelle RS485,
EtherCAT,
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN40 CF-F,
Metallgehäuse
 

Zubehör

TypbezeichnungBeschreibung
B_VSH88 Austauschsensor Typ VSH88 kalibriert, DN40 ISO KF
 
B_VSH89 Austauschsensor Typ VSH89 kalibriert, DN40 CF-F
 
W1500002 2m Messkabel mit offenen Enden für VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 
W1506002 2m Messkabel für VD9 mit VSH/VSM,
geschirmt, 15 pol. SubD, 6 pol. Amphenol
 
W1506006 6m Messkabel für VD9 mit VSH/VSM,
geschirmt, 15 pol. SubD, 6 pol. Amphenol
 
W1506010 10m Messkabel für VD9 mit VSH/VSM,
geschirmt, 15 pol. SubD, 6 pol. Amphenol
 
W1515002 2m Messkabel für VD10 mit VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 
W1515006 6m Messkabel für VD10 mit VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 
W1515020 20m Messkabel für VD10 mit VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 

Technische Daten

Messprinzip Pirani/ Bayard Alpert, gasartabhängig
Medienberührendes Material Edelstahl 1.4307, Ni, W, Pt, yttriertes Iridium, Glas
Messbereich 1000 - 5e-10 mbar (750 - 5e-10 Torr), zul. Überlast 4 bar abs.
Genauigkeit 1000 - 10 mbar: < 30 % vom Messwert
10 - 1e-8 mbar: < 10 % vom Messwert
Wiederholgenauigkeit ±2 % (10- 1e-2 mbar), 5% (1e-2 bis 1 x 1e-8 mbar)
Reaktionszeit < 200 ms (2 s beim Umschalten der BA-Emissonsströme)
Emmissionsstrom Automatische Umschaltung 10 µA, 100 µA, 1 mA, 2 mA
Degas Ohmsche Heizung der Anode
Spannungsversorgung 20 - 30 VDC
Elektrischer Anschluss VSH88D/DL, VSH89D/DL:  SubD,  15pol., männl., verschraubbar
VSH88E, VSH89E: M12 Rundsteckverbinder, weibl., verschraubbar,
1x A-Standard, 5pol., 2x D-codiert, 4pol.
Leistungsaufnahme Ca. 8 W, zusätzlich 1 W f. Degas und 0,8 W f. EtherCAT/Relais/LCD
Umgebungstemperatur 5...+60°C
Lagertemperatur -40...+65°C
Maximal Ausheiztemperatur 180°C am Flansch (Elektronik abgenommen)
Ausgangssignal 0 - 10 VDC, Messbereich 1,219 - 8,6 VDC, logarithm., 0,6 V/Dekade
Lastwiderstand > 10k W (VSH88D/DL, VSH89D/DL)
Serielle Schnittstelle RS485: 9,6 kBit/s bis 115 kBit/s, Adresschalter 1 - 16
Schaltpunkte 2 Relais (Wechsler), 50 VAC / 2 A, 30VDC / 2 A, max. 60 VA
Vakuumanschluss DN 40 ISO-KF (VSH88),
DN 40 CF (VSH89)
Schutzart IP54 (VSH88E, VSH89E),
IP40 (VSH88D/DL, VSH89D/DL)
Gewicht Ca. 555 g

vsh82-kennlinie

Vout /V = 0,6 log (p/mbar) + 6,8
p /mbar = 10( (Vout /V – 6,8) / 0,6 )