Allcontrol AG Schweiz

Mess- und Regeltechnik nach Mass


Abbildung VSRVSR – Smartline™ Vakuum-Transmitter 

Absolutdruck 1200 mbar bis 1 x 10-4 mbar (=hPa), 900 Torr bis 1 x 10-4 Torr

Im digitalen Vakuumtransmitter VSR sorgt eine Kombination aus Piezo- und Piranisensor für hohe Genauigkeit und exzellente Auflösung sowohl im Grob- als auch im Feinvakuumbereich. Die intelligente Mikroprozessorsteuerung regelt automatisch das optimale Zusammenspiel beider Vakuumsensoren. Smartline steht für den Einsatz modernster Digitaltechnologie zur komfortablen, sicheren und kosteneffektiven Prozesssteuerung.


Ihre Vorteile
bieten

  • Weiter Messbereich durch Kombinationssensor Piezo/Pirani
  • Hohe Genauigkeit und optimale Auflösung im ganzen Messbereich
  • Exzellente Reproduzierbarkeit und Langzeitstabilität
  • RS485-Schnittstelle und logarithmisches Ausgangssignal 1,5-8,58 V
    oder EtherCAT
  • Automatische Baud-Raten-Erkennung 9,6 bis 115 kBit/s
  • Optional mit großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung (VSR53DL, VSR54DL)
  • Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte
  • Einfach austauschbarer Sensorkopf mit eingespeicherten Kalibrierdaten

Beispiele für Anwendungen

  • Loadlock-Kammern
  • Analysentechnik
  • Beschichtungsanlagen
  • Vakuumöfen
  • Lecktests
  • Betriebskontrolle an Vorvakuumpumpen
  • Verfahrenstechnik

 

Bestellinformationen

TypbezeichnungBeschreibung
VSR53D Kombinationssensor Piezo/Pirani Absolutdruck 1200 - 1,0e-4 mbar,
Ausgangssignal: 1,5-8,68 V (logarithmisch 1,0V/Dekade),
serielle Schnittstelle RS485,
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN16 ISO KF,
Metallgehäuse
 
VSR53DL identisch mit VSR53D,
inkl. großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung
 
VSR53E Kombinationssensor Piezo/Pirani Absolutdruck 1200 - 1,0e-4 mbar,
serielle Schnittstelle RS485,
EtherCAT,
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN16 ISO KF,
Metallgehäuse
 
VSR54D Kombinationssensor Piezo/Pirani Absolutdruck 1200 - 1,0e-4 mbar,
Ausgangssignal: 1,5-8,68 V (logarithmisch 1,0V/Dekade),
serielle Schnittstelle RS485,
Spannungsversorgung: 15 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN16 CF-F,
Metallgehäuse
 
VSR54DL identisch mit VSR54D,
inkl. großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung
 
VSR54E Kombinationssensor Piezo/Pirani Absolutdruck 1200 - 1,0e-4 mbar,
serielle Schnittstelle RS485,
EtherCAT,
Spannungsversorgung: 15 - 30 VDC,
2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A,
Edelstahlflansch DN16 CF-F,
Metallgehäuse
 

Zubehör

TypbezeichnungBeschreibung
B_VSR53 Austauschsensor Typ VSR53 kalibriert, DN16 ISO KF
 
B_VSR54 Austauschsensor Typ VSR54 kalibriert, DN16 ISO CF-F
 
SLKUSB Schnittstellenkonverter RS485-USB,
mit 2m Kabel und SubD-Stecker, weibl. 15polig,
galvanisch getrennt,
für Smartline-Transmitter in Verbindung mit Steckernetzteil SLN4
oder kundeneigener Spannungsversorgung
 
SLN4 Steckernetzteil 24 V
zur Spannungsversorgung eines Smartline Transmitters;
Input: 100-240 VAC / 50-60Hz, 300 mA
Input-Stecker: AC-Wechselstecker EURO, US, UK, AUS,
Output: 24 VDC, 500mA,
Stecker Zweifach SubD 15polig
 
W1500002 2m Messkabel mit offenen Enden für VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 
W1515002 2m Messkabel für VD10 mit VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 
W1515006 6m Messkabel für VD10 mit VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 
W1515020 20m Messkabel für VD10 mit VSP63D/DL / VSR / VSM / VSH,
doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
 

Technische Daten

Messprinzip Membran piezoresistiv / Pirani
Medienberührendes Material Edelstahl 1.4307, Nickel, Gold, Siliziumdioxid, Wolfram, Glas
Messbereich 1200 mbar bis 1e-4 mbar (900 Torr bis 1e-4 Torr), zulässige Überlast 4 bar abs.
Genauigkeit 1200 - 10 mbar: +-0,3% vom Skalenendwert
10 - 2e-3 mbar: Ca. +-10% vom Messwert
Wiederholgenauigkeit 1200-10 mbar: ±0,1 % vom Skalenendwert,
10-2x10-3 mbar: ±2% vom Messwert
Reaktionszeit 1200 - 10 mbar: < 30 ms (Piezo)
10 - 2e-3 mbar: < 100 ms (Pirani)
Spannungsversorgung 20 - 30 VDC
Elektrischer Anschluss VSR53D/DL, VSR54D/DL: SubD 15pol., männl., verschraubbar
VSR53E, VSR54E: M12 Rundsteckverbinder, weibl., verschraubbar,
1x A-Standard, 5pol., 2x D-codiert, 4 pol.
Leistungsaufnahme 2,5 W, zusätzlich 0,8 W für EtherCAT / Relais / LCD
Umgebungstemperatur 5...+60°C (rel. Feuchte max . 80% bei 30°C nicht betauend)
Lagertemperatur -40...+65°C
Ausheiztemperatur 125°C am Flansch
Ausgangssignal 0-10 VDC, Messbereich 1,5 bis 8,58 VDC, logarithmisch,
1 V / Dekade, Lastwiderstand > 10 kOhm (VSR53D/DL, VSR54D/DL)
Serielle Schnittstelle RS485: 9,6 kBit/s bis 115 kBit/s, Adresschalter 1 - 16
Schaltpunkte 2 Relais (Wechsler), 50 VAC / 2 A, 30VDC / 2 A, max. 60 VA
Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF (VSR53), DN 16 CF-F (VSR54)
Schutzart IP54 (VSR53E, VSR54E), IP40 (VSR53D/DL, VSR54D/DL)
Gewicht 220 g (VSR53D)

vsp62-kennlinie

Vout (V)  =  log (p(hPa)) + 5.5
p [hPa] = 10(Vout(V) - 5.5)